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ALD-GSL-4 2通道ALD控制單元

應(yīng)用范圍：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng)，包含4通道質(zhì)子流量計進行氣體的混合和輸送，可與本公司任意管式爐或腔體進行DIY，組建一套ALD系統(tǒng)，用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復(fù)合。LCD觸摸屏可方便的對每一通道ALD的脈沖時間以及氣體流量進行控制。

產(chǎn)品型號：ALD-GSL-4

上架時間：2019-07-09

安裝尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

A^-A⁺

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ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng)，包含4通道質(zhì)子流量計進行氣體的混合和輸送，可與本公司任意管式爐或腔體進行DIY，組建一套ALD系統(tǒng)，用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復(fù)合。LCD觸摸屏可方便的對每一通道ALD的脈沖時間以及氣體流量進行控制。

性能指標和基本配置
工作電壓&功率	AC220V 單相 50/60Hz 100W
PLC觸摸屏	● 通過6″PLC觸摸屏對ALD蒸汽脈沖時間、氣體流量等參數(shù)進行設(shè)定控制 ● 可控制2個ALD閥門的脈沖時間以及循環(huán)次數(shù)（毫秒級） ● 可控制4通道的氣體流量（4通道質(zhì)子流量計，精度±0.2%F.S） ● 真空壓力顯示 ● 請點擊圖片查看控制界面 ● RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
ALD進氣閥	● 對于兩種前驅(qū)體氣體的沉積，需2個ALD進氣閥進行控制（不包含在設(shè)備中） ● 客戶可使用自己已有的ALD閥或點擊下圖選購本公司ALD閥
流量控制	● 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可用于4路氣體的通入和混合流量范圍: ● 一路: 0~100 SCCM ● 二路: 1~199 SCCM ● 三路: 1~199 SCCM ● 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 ● 工作溫度：5~45oC 耐壓:3MPa ● 精度: ±1.5% FS 線性: ±1%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
通氣管道	● 內(nèi)置不銹鋼混氣罐 ● 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ● 外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管
尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
可選配件	● 可選購氣液混合裝置用于蒸汽的通入，點擊下圖查看詳情 ● 客戶可另外付費由本公司對ALD控制單元以及管式爐系統(tǒng)進行連接組裝
質(zhì)量認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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